利用光伏效应，使太阳光射到硅材料上产（chǎn）生电流，直（zhí）接发电，以硅材料的（de）应用开发形成的产业链，称之为“光伏产业”。其包括高纯单（dān）晶（jīng）硅（guī）/多晶硅原（yuán）材料生产、硅切片生产、太阳能电池生产、太阳能电池组件生产、相关生产设备的制造等。

在光伏产业中，工艺废气产生的（de）主要阶段为（wéi）硅切片生产、太阳能电池生产和太阳能电池组件生产。

废气种类

工艺废气的种类主要（yào）包括酸碱废气、有机废气、热排和普通（tōng）气体、含粉尘气（qì）体和易燃易爆气体(硅烷废气等（děng）)。

一、酸碱废气处（chù）理系统

酸碱废气产生于硅切片清洗、切（qiē）片（piàn）阶（jiē）段，电池片制绒、扩散和（hé）去PSG阶段，是由于这些阶段使用的化学药剂挥发、雾化生成；主要成分为盐酸，硫酸，氢氟酸，氢氧化钠等。

1.1原理

采用“洗涤（dí）法”处理，废气通过洗涤塔,与其中的洗涤夜发生中和（hé）反应（yīng）得到净化；其中酸性气体通（tōng）过碱性洗涤液，碱性气体（tǐ）通过（guò）酸性洗涤液。

具体（tǐ）流程：

废气由进风口流（liú）入，从下至上流过填料床，洗涤液从上至（zhì）下流过填料床（chuáng）。这种气液（yè）逆流方（fāng）式（shì）使废气与洗涤液充分作用（yòng），有效（xiào）清除废气中的（de）杂质。

洗涤液流入洗涤塔（tǎ）底部（bù）的污水槽，循环（huán）泵循环洗涤液，为了达到（dào）最大的去除效率，在洗涤塔顶部的非固定（dìng）式螺旋喷嘴为（wéi）填料（liào）床提供均匀而连续的洗涤液（yè）。

在洗（xǐ）涤塔的出口处，净（jìng）化过的气体流过除雾层，清除99% 的10微米的水（shuǐ）雾。

洗涤（dí）塔使气体从气态转化为液（yè）态（tài）的过程称为化学吸附。通过洗涤塔内部放（fàng）置的填料，使这一转化的效率大大的提高；填料不但增大了气（qì）液混合物的接触面积（jī），同时不断破坏水滴，使新形成的水滴表面（miàn）总是暴露（lù）于空气中，极大的提高了吸附效率。

洗涤液的（de）酸碱度通过（guò）加药设施精确控制，使得废气中可溶性部分被洗涤液吸（xī）附，转化成中性的液体最终排放出洗（xǐ）涤塔。

1.2主要设（shè）备

包含风机、塔体、水泵、螺旋喷头、除雾器填料等。

1.3处理效果

采用这种处理方案可以极好的除去酸碱废（fèi）气，最终达（dá）标排放；并且还有低压力损失（节省电力），不易堵塞，维修简便等优点。是（shì）目前光伏产业中最常用的处理方案。

二、挥发性有（yǒu）机废气处理系统

挥发（fā）性有机废气产生于硅切（qiē）片废线切割（gē）阶段，电池片丝（sī）网印刷（shuā）、烧结阶段（duàn），是由于这些阶段高温高（gāo）热使有机物（wù）挥发（fā）生成；主要成分为挥发性有机气体。

有机废气的处（chù）理（lǐ）一般（bān）采用“吸附法”、“燃烧法”或（huò）者“吸附+燃烧法”。

“吸附法”是利用活性炭等吸（xī）附剂的吸（xī）附能力，将有机（jī）废气（qì）吸附（fù）于设备内，定期更换吸（xī）附剂，达到处理效果。

“燃（rán）烧法”是将有机废气通过RTO(蓄热式氧化器)、RCO（蓄热式催化氧（yǎng）化（huà）器），高温分解（jiě）为水和二氧化碳。

“吸附+燃烧法”分为“活性炭吸附+浓缩燃烧（shāo）”和“浓缩转轮（lún）+燃烧”两种工艺。

（1）“活性炭吸（xī）附+浓缩燃烧”工艺。

吸附浓（nóng）缩-催化燃烧有机废（fèi）气处理工艺，采用阻力小的活（huó）性炭为VOCs吸附材料，将废气中的VOCs吸附达标排放。脱附浓缩的VOCs经催化低温燃烧，转化为洁净的CO2和（hé）H2O ，达（dá）标排放。吸附（fù）床一（yī）般配置两台以上，交替吸脱附，当一台吸附床吸附的VOCs达（dá）到饱和（hé）吸附量时，转入脱附再生工序；同时（shí），另一台吸附床转入吸附净化工序。脱附（fù）是通过将小风量催化燃烧放热后的烟气(约吸附风量的（de）1/10)引入待脱（tuō）附的吸附床，使吸附的VOCs以高浓度脱附下来，随后进入（rù）催化燃烧室进行（háng）低（dī）温无焰式催化燃烧，燃烧产物为CO2和（hé）H2O。浓缩后（hòu）的VOCs催化燃烧放热足（zú）以维持自身催化反应，运行以后不需额外提供能量，节能显著。蜂窝（wō）活性（xìng）炭显著特点（diǎn）是阻力低,因（yīn）此非常适合于大风量、低浓度有机废气的处理。

（2）“浓缩转轮（lún）+燃烧”工艺

技术原理沸石转轮浓缩吸附装置是用吸附－脱附－浓缩三项（xiàng）连续变温的吸、脱附（fù）程序，使低浓度、大（dà）风量有机废气浓缩为高浓浓缩气体。其装置特性适合处（chù）理大流量、低浓度、含多种有机成分的废气。通过转轮的旋转，可在转轮上同时完成气体的脱附和转轮的再生过程。进入浓缩转轮的有机废气在常温下被（bèi）转轮吸附区吸附净化后直（zhí）接排放至大气，接着（zhe）因转轮的转动而进入脱（tuō）附区（qū），吸附了有机物质的转轮在此区内脱附，吸附在转轮上的有机物被分离、脱附、进入（rù）后续燃烧系统，最终被氧化分解成二氧（yǎng）化碳和水，如此循环工作。

燃烧室中的蓄热式陶瓷填充床可使热能（néng）得（dé）到最大限度的回收利用（热回收率大于95%），处理有机气体时不（bú）用或使用很少的燃料，节能效果好，运行费用低，不产生二（èr）次污染，但整（zhěng）体设备的造价很高，适用于有机废气量大项目。

三、易燃易爆废气处理系统

产生于电池片PECVD阶段，是生产（chǎn）过程中残余的气体；主要成分为硅烷气体和氨气等易（yì）燃易爆气体。

硅烷即硅与（yǔ）氢的（de）化合（hé）物，是一系列化合物的总（zǒng）称，包括甲硅烷（wán）、乙硅烷和一些硅（guī）氢化合物，硅（guī）烷废气处理（lǐ）采用燃烧+洗涤法净化硅烷气体，系统内包含：硅烷废（fèi）气燃烧设备（bèi）+滤（lǜ）筒除尘（chén）器+喷淋塔。

工作原理：工作原理是硅烷与输入的压缩空气或新（xīn）风补气口补入的（de）空气接触而自燃或发生氧化反应，反应后生成大量（liàng）的二氧（yǎng）化硅粉尘；氨气采用洗涤塔喷淋吸收形成氨水。内部燃烧室采用特殊（shū）的泄压装置（zhì），即使（shǐ）在内部压力突然增大的情况下仍能正常工（gōng）作，同时配备了氮气入口，更加大了设备（bèi）的安全性。

在粉尘收集方面采用静压沉积的（de）方法，沉积下来的粉尘通（tōng）过排渣口排出，这（zhè）使粉尘收（shōu）集处理变得更容易、更（gèng）有效，后续工艺还配（pèi）套了（le）滤筒除尘技术，进一步去除氧化硅（guī）粉（fěn）尘，提升粉尘的治理效率。

四、含粉尘气体处理系统

含粉尘气体产生于硅切片砂浆搅拌阶（jiē）段，是由于搅拌过程中（zhōng）的（de）粉尘造成；主要成分为可吸入颗粒物。采用“吸附法”去处粉尘（chén）后直接排（pái）放。

主（zhǔ）要（yào）设备（bèi）包含布袋（dài）除尘器，风机。

粉尘气体经过布袋除（chú）尘器，粉尘被吸附在过（guò）滤网上，气体直接排放。需要定期对滤网清洗（xǐ），保证处（chù）理效果。

五（wǔ）、热排和普（pǔ）通气体处理系统（tǒng）

热排（pái）和普通气体（tǐ）产生于电（diàn）池片丝网印刷、烧结阶（jiē）段，组件层压、单焊和串焊阶段，以及更衣室的排（pái）风，是由于这些阶段热排风和普通排风造成；主要成分为热空气和异味气体。

成分为普通（tōng）空气（qì），采用高空直（zhí）接排（pái）放方式处理，将风机（jī）放置于屋顶，直接排放，减少对车间环境的影（yǐng）响。